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本发明提供了一种给气伸缩及拾取装置,包括伸缩拾取本体、正压组件、负压组件、伸缩组件、吸盘、第一密封圈和密封组件,所述伸缩拾取本体顶部安装有正压组件、负压组件,所述伸缩拾取本体内部安装有伸缩组件,所述伸缩组件顶部安装第一密封圈,所述伸缩组件底...该专利属于天津金海通半导体设备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津金海通半导体设备股份有限公司授权不得商用。
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