下载金属配线形成方法、有源矩阵衬底的制造方法、及设备的技术资料

文档序号:3723140

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本发明提供一种能够提高膜图形的贴紧力的膜图形形成方法。在由设置在衬底(P)上的堤(B)划分的配线形成区域(34)中通过液相法形成金属配线(11、12)。金属配线(11、12)包括:沿配线形成区域的底部以及堤(B)的面对配线形成区域的侧面成膜...
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