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本发明实施例公开了镨掺杂氧化铟锌溅射靶材的制备方法，包括：将Pr2O3粉体、In2O3粉体、ZnO粉体按设定质量比混合，加入添加剂调制成浆料；砂磨得到含有单一粒径颗粒的浆料；浆料喷雾造粒得到球形造粒粉；球形造粒成型得到靶材素坯；靶材素坯进行...
该专利属于郑州大学所有，仅供学习研究参考，未经过郑州大学授权不得商用。

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