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电化学定向生长Al2O3超薄膜基板的制造方法技术
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文档序号:3723111
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电化学定向生长Al↓[2]O↓[3]超薄膜基板的制造方法,本发明涉及Al↓[2]O↓[3]膜基板的制造方法。它解决了采取陶瓷工艺制作的Al↓[2]O↓[3]基板无法满足超薄要求的问题。它通过下述步骤实现:取铝箔进行表面清洗,用丙酮或氢氧化钠...
该专利属于哈尔滨理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨理工大学授权不得商用。
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