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扫描式哈特曼像质检测系统和方法技术方案
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文档序号:37230770
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本发明公开了一种扫描式哈特曼像质检测系统和方法,涉及光学检测技术领域。扫描式哈特曼像质检测系统包括沿光路传播方向依次设置的激光器、可变光阑、待测镜头、扩束镜和哈特曼传感器,还包括数据采集卡、移动机构和上位机;数据采集卡用于采集哈特曼传感器的...
该专利属于珠海迈时光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海迈时光电科技有限公司授权不得商用。
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