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本申请实施例提供一种沟槽栅半导体器件及其制造方法,沟槽栅半导体器件包括:第一衬底层、第一掺杂区、第二掺杂区、第一导电构件、第二导电构件、源极电极;还包括两个第三掺杂区,形成在所述第一衬底层上且对应位于第二导电构件的下方,所述第三掺杂区的掺杂...该专利属于无锡先瞳半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡先瞳半导体科技有限公司授权不得商用。
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本申请实施例提供一种沟槽栅半导体器件及其制造方法,沟槽栅半导体器件包括:第一衬底层、第一掺杂区、第二掺杂区、第一导电构件、第二导电构件、源极电极;还包括两个第三掺杂区,形成在所述第一衬底层上且对应位于第二导电构件的下方,所述第三掺杂区的掺杂...