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本实用新型揭示了一种MEMS深腔引线键合封装结构,包括壳体,所述壳体内固定设置有基板,所述基板的上表面设置有芯片,且所述基板上还设置有从其上表面延伸到下表面的焊盘;所述芯片的上表面设置有一组凹槽;所述芯片与所述焊盘之间通过键合线连接,所述键...该专利属于苏州捷研芯电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州捷研芯电子科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型揭示了一种MEMS深腔引线键合封装结构,包括壳体,所述壳体内固定设置有基板,所述基板的上表面设置有芯片,且所述基板上还设置有从其上表面延伸到下表面的焊盘;所述芯片的上表面设置有一组凹槽;所述芯片与所述焊盘之间通过键合线连接,所述键...