下载直拉硅单晶相变面热通量求解方法的技术资料

文档序号:37228195

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本发明公开了一种直拉硅单晶相变面热通量求解方法,首选在硅单晶生长设备的观察窗的位置加装温度传感器,用以测量获得晶体表面测点的温度,并建立硅晶体二维轴对称热传导控制方程以及各个边界条件;然后对建立的硅晶体二维轴对称热传导控制方程进行离散化,并...
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