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形成用于光刻转印的准直UV光线的方法和设备技术
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文档序号:3722754
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本发明提供一种生产用于曝光印刷电路板的准直的UV辐射的改进方法和设备。该方法在于,通过分开多个辐射源上的UV辐射来缩短下游光学装置的光程长,并且,通过使用扫描滑动片来将UV辐射均匀地分布在基底上。...
该专利属于拉多韦有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过拉多韦有限公司授权不得商用。
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