温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型属于半导体器件技术领域，具体公开了一种制备氮化镓的半导体衬底组件，包括衬底托盘、柱体及柱体底座，所述衬底托盘包括盘体及凸块，所述凸块嵌固于所述柱体顶部，所述柱体底部固定连接在柱体底座上，所述柱体包括环状分隔缝，且柱体外壁沿环状分隔...
该专利属于雅安宇焜芯材材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过雅安宇焜芯材材料科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。