下载一种防晶背刮伤的升降装置的技术资料

文档序号:37226023

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本实用新型公开了一种防晶背刮伤的升降装置,属于晶圆检测技术领域,包括固定台面,固定台面上设有用于加工晶圆的放置台,固定台面的前侧设有操作杆,操作杆上设有推动块,固定台面内设有操作腔,操作腔内转动连接有升降筒。本方案通过设置的支撑筒,能够在晶...
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