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本发明提供一种曝光装置，以通过有效地除去光掩模（Ｍ）和台板（５）上的粘附性灰尘而实现成品率高的曝光。第一清洁头（１）安装在输入手（３）的曝光部（２０）侧，在输入手（３）进行输入动作时，刮刀（１１）在预定位置伸出并接触台板（５）的上表面，随着...
该专利属于株式会社阿迪泰克工程所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社阿迪泰克工程授权不得商用。

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