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切割装置制造方法及图纸
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文档序号:37222539
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本实用新型公开了一种切割装置,切割装置用于切割半导体产品的不良区域,切割装置包括:台架、识别机构、切割机构、第一送料装置和第二送料装置,台架上具有位于上下游的识别工位和切割工位;识别机构设置于识别工位;切割机构设置于切割工位;第一送料装置和...
该专利属于通富微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通富微电子股份有限公司授权不得商用。
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