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本实用新型涉及硅棒生产检测技术领域，具体涉及一种圆硅棒内部裂纹检测机构，包括进料组件、取料组件及检测组件；进料组件用于依次运输圆硅棒，并对应有取料工位；取料组件设置于取料工位上方，包括一对夹头，驱动至少一个夹头运动的夹取模组，驱动夹头带动夹...
该专利属于霍克视觉科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过霍克视觉科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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