一种圆硅棒内部裂纹检测机构制造技术

本实用新型专利技术涉及硅棒生产检测技术领域，具体涉及一种圆硅棒内部裂纹检测机构，包括进料组件、取料组件及检测组件；进料组件用于依次运输圆硅棒，并对应有取料工位；取料组件设置于取料工位上方，包括一对夹头，驱动至少一个夹头运动的夹取模组，驱动夹头带动夹取的圆硅棒发生转动的旋转模组，以及驱动一对夹头升降的提升模组；提升模组驱动所述圆硅棒对应有检测工位；检测组件包括光源模组及相机模组；光源模组及相机模组设置于处在检测工位的圆硅棒垂直于轴线方向的两侧边。本实用新型专利技术采用夹取模组实现圆硅棒抬升悬空，并基于旋转模组完成旋转，进而可以全面检测圆硅棒内部是否有裂纹存在；结合进料组件的依次送料，有效保证检测高效快捷。测高效快捷。测高效快捷。

【技术实现步骤摘要】
一种圆硅棒内部裂纹检测机构


[0001]本技术涉及硅棒生产检测
，特别涉及一种圆硅棒内部裂纹检测机构。

技术介绍

[0002]单晶硅作为一种极具潜能，亟待开发利用的高科技资源，正引起越来越多的关注和重视。单晶硅棒是用于制造半导体器件、太阳能电池的，单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的，是硅原子按籽晶的晶格排列方向，重新排列的硅单晶体棒。
[0003]硅棒成型后需进行内部裂纹检测，现有技术中来料是放在流水线载盘上的，无法检测到圆硅棒下部分内部是否有裂纹，进而无法实现检测全面性，因此本技术研制了一种圆硅棒内部裂纹检测机构，以解决现有技术中存在的问题。

技术实现思路

[0004]本技术目的是：提供一种圆硅棒内部裂纹检测机构，以解决现有技术中圆硅棒下部分内部的裂纹无法实现全面检测的问题。
[0005]本技术的技术方案是：一种圆硅棒内部裂纹检测机构，包括：
[0006]进料组件，所述进料组件用于依次运输圆硅棒，并对应有取料工位；
[0007]取料组件，所述取料组件设置于所述取料工位上方，包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种圆硅棒内部裂纹检测机构，其特征在于，包括：进料组件，所述进料组件用于依次运输圆硅棒，并对应有取料工位；取料组件，所述取料组件设置于所述取料工位上方，包括一对夹头，驱动至少一个夹头运动的夹取模组，驱动夹头带动夹取的圆硅棒发生转动的旋转模组，以及驱动一对夹头升降的提升模组；所述提升模组驱动所述圆硅棒对应有检测工位；检测组件，所述检测组件包括光源模组及相机模组；所述光源模组及相机模组设置于处在所述检测工位的圆硅棒垂直于轴线方向的两侧边。2.根据权利要求1所述的一种圆硅棒内部裂纹检测机构，其特征在于：一对所述夹头安装于横梁上，所述夹头包括夹紧座，以及与夹紧座转动连接的转动件；一侧所述夹紧座与横梁固定连接，另一侧所述夹紧座与横梁滑动配合；一对所述转动件设置于一对所述夹紧座相对的端面处，用于夹紧所述圆硅棒；所述夹取模组采用伸缩气缸，所述伸缩气缸的活动端与滑动配合的所述夹紧座连接；所述旋转模组采用伺服电机，所述伺服电机安装于夹紧座外侧端面，并与所述转动件连接，驱动所述转动件发生旋转；所述提升模组采用一对...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯伟，王克，欧世乐，
申请(专利权)人：霍克视觉科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：