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本发明公开了一种SPM溶液混酸输出控制方法，在SPM溶液在进入酸洗槽之前，硫酸和双氧水在输送管路上按照既定体积比依次进行第一级混合和第二级混合，第一级混合后输出的混合液再进行第二级混合，第一级混合时加热，实时监测第一级混合后流出的混合液的氧...
该专利属于至微半导体（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过至微半导体（上海）有限公司授权不得商用。

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