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存储器件及其制备方法技术
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文档序号:37216246
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本申请涉及一种存储器件及其制备方法。所述存储器件包括:衬底、共源线、多条栅极字线、多个柱状结构以及栅介质层。共源线设置于衬底上。多条栅极字线平行间隔设置于共源线的上方,且栅极字线沿第一方向延伸。多个柱状结构呈阵列状设置于共源线上,并贯穿栅极...
该专利属于北京超弦存储器研究院所有,仅供学习研究参考,未经过北京超弦存储器研究院授权不得商用。
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