下载感光性组合物的技术资料

文档序号:3721559

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一种感光性组合物,其特征在于,其通过插入光掩模曝光产生紫外线的灯所发出的光的一次性曝光法、或者通过使用产生紫外线的灯所发出的光或激光的直接描绘法形成图案潜像,用碱性水溶液使该图案潜像显影化,其中,其曝光前的干燥涂膜每25μm厚度,在355~...
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