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本申请是关于一种基于氦质谱检漏仪的检漏方法、装置、设备及介质，具体涉及真空检漏技术领域。该方法包括：获取不同漏率段分别对应的线性表达式，所述线性表达式中包括漏率与氦分子的渗透率之间的线性关系；在当前基于所述氦质谱检漏仪进行漏孔检测的情况下，...
该专利属于北京中科科仪股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科科仪股份有限公司授权不得商用。

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