基于氦质谱检漏仪的检漏方法、装置、设备及介质制造方法及图纸

本申请是关于一种基于氦质谱检漏仪的检漏方法、装置、设备及介质，具体涉及真空检漏技术领域。该方法包括：获取不同漏率段分别对应的线性表达式，所述线性表达式中包括漏率与氦分子的渗透率之间的线性关系；在当前基于所述氦质谱检漏仪进行漏孔检测的情况下，将检测到的氦分子的渗透率记为第一渗透率；将所述第一渗透率代入不同漏率段分别对应的线性表达式进行比对，以确定当前的漏率。基于本技术方案，可以避免基于同一线性度进行漏率计算的不准确性，提高氦质谱检漏仪检测结果的可靠性。提高氦质谱检漏仪检测结果的可靠性。提高氦质谱检漏仪检测结果的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
基于氦质谱检漏仪的检漏方法、装置、设备及介质


[0001]本专利技术涉及真空检漏
，具体涉及一种基于氦质谱检漏仪的检漏方法、装置、设备及介质。

技术介绍

[0002]在真空行业中，对于漏孔的检测是真空获得的重要部分。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的一种用于对漏孔的漏率进行检测的仪器。
[0003]氦质谱检漏仪的氦分子的渗透率是和漏率大小成线性关系。由于空气中本来就有除氦以外的其余元素(例如：氮，水蒸气等)，在灯丝电子的轰击下这些空气中本来包含的微量气体也会被电离成电离子，被放大器当成氦离子吸收，当漏孔大、漏率也大的时候，这些空气中的微量不足以影响漏率的线性度，而当漏孔小时，这些微量元素就会影响漏率的计算。
[0004]因此，如何提高漏率检测的准确度，是亟需解决的问题。

技术实现思路

[0005]本申请提供了一种基于氦质谱检漏仪的检漏方法、装置、设备及介质，该技术方案如下。
[0006]一方面，提供了一种基于氦质谱检漏仪的检漏方法，所述方法包括：
[0007]获取不同漏率段本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于氦质谱检漏仪的检漏方法，其特征在于，所述方法包括：获取不同漏率段分别对应的线性表达式，所述线性表达式中包括漏率与氦分子的渗透率之间的线性关系；在当前基于所述氦质谱检漏仪进行漏孔检测的情况下，将检测到的氦分子的渗透率记为第一渗透率；将所述第一渗透率代入不同漏率段分别对应的线性表达式进行比对，以确定当前的漏率。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取不同漏率段分别对应的线性表达式，包括：将不同数量级的标准漏孔分别接入所述氦质谱检漏仪进行数据采集，得到多组数据采集结果，每组所述数据采集结果中包括标准漏孔、标准漏孔对应的氦分子的渗透率；基于所述多组数据采集结果，计算得到不同漏率段的线性参数；根据不同漏率段的线性参数，得到不同漏率段分别对应的线性表达式。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述多组数据采集结果，计算得到不同漏率段的线性参数，包括：针对所述不同漏率段中的目标漏率段，从所述多组数据采集结果中筛选出至少两组目标数据采集结果，所述目标数据采集结果中的标准漏孔属于所述目标漏率段的范围；对所述至少两组目标数据采集结果进行最小二乘法拟合，得到所述目标漏率段对应的线性参数。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将所述第一渗透率代入不同漏率段分别对应的线性表达式进行比对，以确定当前的漏率，包括：将检测到的所述第一渗透率依次代入各个漏率段对应的线性表达式进行计算；在代入当前漏率段对应的线性表达式所计算得到的漏率值属于所述当前漏率段的范围的情况下，则将所述漏率值作为第一渗透率对应的漏率。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：渠欣，郝猛，宋海燕，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：