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用于自工件表面去除离子污染物的水溶液及方法技术
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文档序号:3720643
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用于自具有阻焊掩膜及表面顶层的工件的表面去除离子污染物的水溶液,所述溶液包含: a)至少一种选自乙醇胺化合物及其盐的第一化合物;及 b)至少一种选自醇溶剂的第二化合物。...
该专利属于埃托特克德国有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过埃托特克德国有限公司授权不得商用。
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