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本实用新型公开一种光罩转运装置以及光刻机，其中，所述光罩转运装置包括主体以及防护结构，所述主体用以活动设置于光刻机内，所述主体的底部设置有抓取结构，所述抓取结构用以抓取光罩；所述防护结构安装于所述主体，且所述防护结构包括一活动设置于所述主体...
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