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本发明涉及一种晶圆清洗方法，使用的晶圆清洗装置包括清洗装置本体，其所述清洗装置本体的顶部设置有上框组件，所述上框的内部设置有清理机构，所述清洗装置本体的内部设置有调整机构，所述上框组件包括有立式电机，所述立式电机的输出轴通过联轴器固定连接有...
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