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本实用新型涉及一种应用于超声波清洗中的滚轮结构，安装于装有溶液的清洗槽内，清洗槽的上下两侧分别设有至少一组超声波清洗机，滚轮结构包括阻水滚轮和若干上压滚轮，阻水滚轮和上压滚轮均为浮动滚轮；阻水滚轮与上压滚轮平行设置且与硅片的传送方向垂直，阻...
该专利属于釜川（无锡）智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过釜川（无锡）智能科技有限公司授权不得商用。

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