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本发明提出了一种等离子体发生器以及镀膜设备，其中，该等离子体发生器包括：第一电极部，具有至少一个第一电极板，在俯视视角下，第一电极板的中部与射频电极连接，第一电极板上具有多个出气孔；第二电极板，第二电极板被接地，第二电极板与第一电极板隔开而...
该专利属于深圳市原速光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市原速光电科技有限公司授权不得商用。

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