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本实用新型涉及激光对位领域，具体地说，涉及一种用于晶圆检测过程中chuck与镜头激光对位组件。其包括对位组件主体，对位组件主体包括水平放置于chuck表面的第一对位部和安装于镜头处的第二对位部；第一对位部的内部设置有激光源，激光源所发射激光...
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