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本发明的课题是实现可在曝光处理途中进行聚焦调整，且无须追加聚焦调整专用的照明单元或显像单元，就可以在短时间内调整聚焦。在将形成于掩模（Ｍ）的图案投影在带状工件（Ｗ）、并进行曝光的带状工件的曝光装置中，在掩模（Ｍ）的对准标记（ＭＡＭ）的内侧形...
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