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本发明提供了用于激发、调节和维持等离子体（６１５）以实现各种涂覆处理的方法和装置。在一个实施例中，在等离子体催化剂（２４０）存在于底座（２４５）中的情况下，通过使气体受到由电极（２７０）和电源（２７５）提供的大量电磁辐射，在具有壁（２３２）...
该专利属于BTU国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过BTU国际公司授权不得商用。

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