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金属填充微细结构体的制造方法技术
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文档序号:37189448
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本发明提供一种导电性良好的金属填充微细结构体的制造方法。金属填充微细结构体的制造方法具有:准备结构体的准备工序,所述结构体具有绝缘膜及沿厚度方向贯通所述绝缘膜且以彼此电绝缘的状态设置的多个导体,导体从绝缘膜的厚度方向上的至少一个的面突出,所...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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