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一种曝光装置以及曝光方法，使靶材料等离子化，并产生脉冲光，以脉冲光进行曝光。本发明的特点是包括：发光机构，使间歇性供应的靶材料等离子化而产生脉冲光；标线片载物台，具备照射脉冲光的标线片；感应基板载物台，配置有照射于标线片经过图案化的脉冲光的...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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