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本发明在被处理物为大型的情况下，也能够以简单的结构进行表面处理。用第一单元１１Ｌ和第二单元１１Ｒ构成表面处理装置１的处理头１０。在这些单元１１中，用于喷出处理气体的喷出口３４沿第一方向延伸。第一方向与使被处理物移动的第二方向正交。两个单元１...
该专利属于积水化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过积水化学工业株式会社授权不得商用。

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