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提供一种容性耦合等离子体反应器，包括：等离子体反应器；容性耦合电极组件，包括多个容性耦合电极，用于在所述等离子体反应器内诱发等离子体放电；主电源，用于提供射频功率；以及分配电路，用于接收所述主电源提供的所述射频功率，并将接收的所述射频功率分...
该专利属于新动力等离子体株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过新动力等离子体株式会社授权不得商用。

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