下载一种高气压微波等离子体激励装置的技术资料

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一种高气压微波等离子体激励装置,其特征在于:该微波等离子体激励装置由波导一同轴转换机构、透波气体密封窗、带截止段的同轴开路谐振腔和辐射开路同轴腔组成;波导一同轴转换机构同轴线的外导体通过透波气体密封窗与同轴开路谐振腔的外导体相连,波导一同轴...
该专利属于中国科学院金属研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院金属研究所授权不得商用。

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