一种高气压微波等离子体激励装置制造方法及图纸

一种高气压微波等离子体激励装置，其特征在于：该微波等离子体激励装置由波导一同轴转换机构、透波气体密封窗、带截止段的同轴开路谐振腔和辐射开路同轴腔组成；波导一同轴转换机构同轴线的外导体通过透波气体密封窗与同轴开路谐振腔的外导体相连，波导一同轴转换机构同轴线的内导体通过透波气体密封窗经电容将微波能量耦合给同轴开路谐振腔，辐射开路同轴腔同轴装设于同轴开路谐振腔的内部。本实用新型专利技术可以在高的气压情况下实现等离子体激励和维持，并且微波能基本不泄漏转换效率高，同时装置本身具有较长的使用的寿命。（*该技术在2010年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及微波等离子体技术，特别提供了一种可以稳定激发并维持高气压微波等离子体的装置。微波等离子体与常规直流电弧、高频等离子体相比，具有无电极污染、等离子体反应活性高、能量利用率高等特点，是进行化学合成、材料表面改性的理想手段。微波等离子体按其工作压力可以分为低气压(小于760Torr)和高气压(大于760Torr)两种。低气压微波等离子体在薄膜沉积、等离子刻蚀等领域已获得了广泛的应用。为满足大规模的等离子体化学合成、发展新型光源的需要，在过去二十年中人们已经专利技术了多种高气压微波等离子体的激励技术，概括起来主要有以下几种方案(1)电容耦合微波等离子体的激励技术(CMP)；(2)同轴基表面波微波等离子体的激励技术(Surfatron)；(3)波导基表面波微波等离子体的激励技术(Surfaguide)；(4)TM010谐振腔(MIP)微波等离子体的激励技术。电容耦合微波等离子体激励装置是通过一个空心圆管和置于其中心的棒状电极所组成的电容器，把微波能量耦合给石英管内的气体，使气体电离而形成CMP。但是它必须用高频火花“引燃”才能形成自持的CMP,CMP放电的缺点是微波能的泄漏和内本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高气压微波等离子体激励装置，其特征在于：该微波等离子体激励装置由波导－同轴转换机构（１）、透波气体密封窗（２）、带截止段的同轴开路谐振腔（３）和辐射开路同轴腔（４）组成；波导－同轴转换机构（１）同轴线的外导体通过透波气体密封窗（２）与同轴开路谐振腔（３）的外导体相连，波导－同轴转换机构（１）同轴线的内导体通过透波气体密封窗（２）经电容（５）将微波能量耦合给同轴开路谐振腔（３），辐射开路同轴腔（４）同轴装设于同轴开路谐振腔（３）的内部。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨永进，张劲松，张军旗，曹小明，
申请(专利权)人：中国科学院金属研究所，
类型：实用新型
国别省市：89[中国|沈阳]