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一种ＲＦ等离子体系统采用频率调谐，在一个频率范围内改变ＲＦ发生器（１４）的频率，以便与等离子体腔（１８）的阻抗相匹配。从双向探测器（１６）获得入射和反射功率的幅值。获得一个频率下入射功率和反射功率的比值，然后改变频率。调谐算法将新频率处的反...
该专利属于恩尼技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过恩尼技术公司授权不得商用。

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