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本发明提出一种产生等离子区的装置，它尤其通过微结构电极放电用于表面处理、气体化学置换或产生光，它具有一个等离子发生装置（１），该装置至少具有一个波导结构（１１）。此外设有一个微波发生器，借助它可将电磁微波耦合到波导结构（１１）中。波导结构（...
该专利属于罗伯特.博施有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特.博施有限公司授权不得商用。

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