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本发明属于自动化技术领域，公开了一种稳定的高精度微变间距吸盘装置。区别现有技术的轴+直线轴承结构，提供一种直线导轨、定位块、连接块、定位板的限定移动结构，解决了污染硅片问题，并极大的改善了上述机构的稳定性，提高了使用寿命，使得这种变间距吸盘...
该专利属于连智（大连）智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过连智（大连）智能科技有限公司授权不得商用。

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