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本发明涉及使用放射线槽天线的微波等离子体处理装置，使放射线槽天线辐射面与构成处理室外壁的一部分，贴紧在与浇淋板贴紧的盖板上，在放射线槽天线上还通过设置冷却器，以便吸收于厚度方向在处理室外壁中流过的热流，从而使浇淋板的冷却效率最佳化，同时使微...
该专利属于大见忠弘;东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大见忠弘;东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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