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本发明提供一种等离子体处理装置，主要是改进等离子体处理装置内的上电极板的构造。本发明的上电极板包括气体分配板；绝缘盖板，其盖在气体分配板的上部；以及多个固定部，用以固定气体分配板和绝缘盖板。每个固定部包括螺钉和螺帽，螺钉包括一头部和一杆部，...
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