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一种等离子体腐蚀反应器，包括：反应室；第一电极；第二电极；与所述第二电极相连的第一电源，其产生第一频率的功率；与所述第二电极相连的第二电源，其产生第二频率的功率；所述第二电极关联于适于固定要处理的晶片的夹盘；所述第一电源产生低频功率；所述第...
该专利属于泰格尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过泰格尔公司授权不得商用。

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