下载一种强电离放电非平衡等离子源及制备等离子的方法的技术资料

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一种强电离放电非平衡等离子源,其特征在于,由电源(1)、接地极(2)、放电极(3)、电介质层构成,电源的频率范围为5000Hz~50000Hz,输出的交变电压范围为2000V~20000V。...
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