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本发明提供了一种体声波谐振器及制作方法、滤波器,该体声波谐振器中,在叠置的第一谐振功能区和第二谐振功能区之间设置有布拉格反射层,在体声波谐振器的纵截面上,该布拉格反射层中第三反射层的最大截面宽度大于第一反射层与第二反射层的最大截面宽度,第一...该专利属于见闻录(浙江)半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过见闻录(浙江)半导体有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种体声波谐振器及制作方法、滤波器,该体声波谐振器中,在叠置的第一谐振功能区和第二谐振功能区之间设置有布拉格反射层,在体声波谐振器的纵截面上,该布拉格反射层中第三反射层的最大截面宽度大于第一反射层与第二反射层的最大截面宽度,第一...