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本发明为各种等离子体加工和处理提供了用于等离子体激发、调节和维持等离子体的方法和装置。在一个实施例中，在惰性或活性等离子体存在的情况下，通过使多模处理腔中的气体受到频率介于大约１ＭＨｚ和大约３３３ＧＨｚ的电磁辐射来激发等离子体。例如，惰性等...
该专利属于BTU国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过BTU国际公司授权不得商用。

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