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描述了一种用于处理来自半导体制造加工工具的排出气体流的设备。所述设备包括用于由惰性可电离气体产生辉光放电的等离子体喷枪。所述气体流被输送至所述辉光放电处以使等离子体点火。电磁辐射源将电磁辐射供应至所述排出气体流以维持所述等离子体。所述设备特...
该专利属于爱德华兹有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱德华兹有限公司授权不得商用。

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