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一种具有阴极罩、多个级联板以及阳极板的级联源，所述级联板彼此绝缘、依次叠置并一起限定至少一个等离子通道，所述阳极板具有连接至所述等离子通道的流出口，其特征在于：每个等离子通道设置一个阴极，该阴极包括一个电极，所述电极相对于所述阴极罩在所述等...
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