【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种设置有阴极罩、多个级联板以及阳极板的级联源(cascade source)，所述各级联板互相绝缘、依次叠置，共同限定至少一个等离子通道，所述阳极板设置有连接至所述等离子通道的流出口。
技术介绍
在实践中这样的级联源是众所周知的。最初的级联源是1956年由Maecker专利技术的。后来，由Kroesen等人又据此专利技术了氩等离子源。公知的级联源设置有铜阴极罩和三个阴极，阴极具有进入阴极罩的钨尖。在此公知的装置内，级联板由铜制成，并包含冷却通道，通过此冷却通道引入水来冷却级联板。在每两个互相叠置的铜板之间，有O型环、PVC之类的绝缘板以及氮化硼板，它们共同形成真空密封和电绝缘。等离子弧在阴极尖和阳极的流出口之间延伸。通常，级联源连接至处理腔，此处理腔内的压力极度降低。在较高的压力下将流体供应至阴极罩内。该流体从阴极罩通过等离子通道高速流向处理腔。此气流的结果使等离子扩散至处理腔，这样等离子在处理腔是活动的。在公知的级联源中，三个阴极都与铜阴极罩绝缘。由于在公知的源内导电阴极罩和阴极的电极尖之间的距离很小，在等离子的点火期间，极有可能在短时间内在...
【技术保护点】
一种设置有阴极罩、多个级联板以及阳极板的级联源，所述各级联板彼此绝缘、依次叠置并共同限定至少一个等离子通道，所述阳极板设置有连接至所述等离子通道的流出口，其特征在于：每个等离子通道一个阴极，该阴极包括电极，所述电极相对于所述阴极罩可沿所述等离子通道的方向调节。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：马丁迪南特比克，莱昂纳德斯彼得鲁斯玛利亚克莱森，弗朗西斯库斯柯尔内留斯丹格斯，雷米克莱昂纳德斯约翰内斯罗伯托斯，
申请(专利权)人：OTB集团有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]
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