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公开了一种等离子装置。所述等离子装置包括具有用于在其中容纳前体气体和氧气的中空部分的内电极，在其中容纳内电极的外电极同时在其间形成间隙，其方式是惰性气体和氧气被引入到所述间隙中。等离子装置也包括用于将ＤＣ电压或者射频（ＲＦ）ＡＣ电压施加到内...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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