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公开了一种用于检测半导体芯片的裂纹的装置，该装置可以包括裂纹传感器，所述裂纹传感器包括：充电图案，设置在要检测其中的裂纹的目标层的第一表面上；电荷吸收图案，设置在目标层的第二表面上，以及连接图案，将充电图案电连接到电荷吸收图案。用于检测裂纹...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。

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