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一种在等离子体反应器中处理工件的方法，包括将来自具有三个各自频率的至少三个ＲＦ功率源的ＲＦ功率耦合到反应器中的等离子体；通过选择至少三个ＲＦ功率源中的第一对的功率级之间的比率而设置离子能量分布形态；并且通过选择至少三个ＲＦ功率源中的第二对的...
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