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在加工工件的真空室内，等离子体以等离子体约束容积为界，包括同时响应于第一和第二ＲＦ频率功率的第一电极与ＤＣ接地第二电极之间的区域。ＤＣ接地延伸部分基本上直线对准第一电极。大部分第一频率功率耦合到包括第一与第二电极但不包括延伸部分的通路，大部...
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